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축전 결합형 C4F8/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석

발표자 : 이진호¹, 성인호¹,⁴, 김시준², 이장재¹, 이영석¹, 조철희¹, 이상호¹,³, 정원녕¹, 유신재¹,,*



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